Canon FPA-6000ES6a 90nm KrF Scanner
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Canon FPA-6000ES6a 90nm KrF Scanner

商家设备
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Scanner

类型

2005年

年份

12

晶片尺寸

基本信息

  • 型号:6000ES6a
  • 类型:Scanner
  • 年份:2005年
  • 晶片尺寸:12
  • 设备数量:1
  • 销售状态:待出售

设备描述

Uniformity(1.255%), Intensity(31474W/m2), 6" Reticle Inline((R->L), GIGAPHOTON(G41K3-1H). Fab out (Jun. 2018)

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